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虚拟量测(VM) 利用已收集的相关参数，如设备的传感器参数或其它参数，与所关心的测量结果进行AI建模，此模型可以在之后根据设备传感器参数进行量测值预测，无需到特有的设备进行实际的测量。
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根据机器参数和传感器数据预测产品的性能，而不需要进行昂贵的物理测量
尽早发现异常事件，快速反应
对每个产品或批次的特定控件使用预测
使用预测来启用动态样本计划
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